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lintec低壓差質量流量控制器MC-3000S 便攜式超聲波流量計

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更新日期:2024-03-24

簡要描述:

lintec低壓差質量流量控制器MC-3000S
低壓差質量流量控制器,最小工作壓差為800Pa。
專有的環境溫度補償型傳感器低壓降規格和 ±1% F.S 的精度降低了壓降。

lintec低壓差質量流量控制器MC-3000S 便攜式超聲波流量計
品牌其他品牌類型超聲波
測量范圍1m3/h

lintec低壓差質量流量控制器MC-3000S

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低壓差質量流量控制器,最小工作壓差為800Pa。

專有的環境溫度補償型傳感器低壓降規格和 ±1% F.S 的精度降低了壓降。

壓電陶瓷執行器閥,可在低壓差下實現精確的流量控制和穩定性。

特點

  • 低壓差 (800Pa)

  • 工作溫度 5~50°C

  • 金屬密封件

  • 清潔(保證顆粒)

  • 環境溫度補償傳感器

  • RS-485 通信

選擇

  • 微流 F.S.

使用示例

低蒸氣壓氣體溫度下的流量控制

MC-3000S是一款低壓質量流量控制器,如果二次側通過其專有的低壓降結構進行抽真空,即使在室溫下也能對H2O等液體原料進行流量控制。 推薦使用ITO濺射方法,該方法將少量水蒸氣發送到真空室。 此外,即使在室溫下,即使是低蒸氣壓的固體原料(如 XeF2),也可以進行流量控制。

減壓罐船(SDS集裝箱)的流量控制

離子注入機中使用AsH3和PH3等特殊材料氣體,并且通常使用安全輸送源(SDS)容器來安全穩定地供應它們。 SDS填充的罐壓低于大氣壓,需要能夠在低壓差下控制流量的MFC。 MC-3000S 具有的低壓降結構,可在低至 800 Pa(6 Torr)的壓差下實現流量控制。

lintec低壓差質量流量控制器MC-3000S

規格


溫度最小壓差最大壓差精度控制范圍標準最高 F.S.密封
5~50°C800帕133kPa±1%F.S.
2~100%F.S.
2SCCM30SCCM





* 規格表為具有一般規格的質量流量控制器。 可以通過選項進行更改。



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