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日本okk晶圓真空貼片機(jī)OVM系列

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更新日期:2024-03-19

簡(jiǎn)要描述:

日本okk晶圓真空貼片機(jī)OVM系列
近年來(lái),越來(lái)越多的情況是在正面和背面上形成大的臺(tái)階,例如凸塊,MEMS,TAIKO®* 1和背面安裝,并且不可避免地會(huì)由于薄化而使晶片翹曲。在傳統(tǒng)的輥涂方法中,由于在粘貼過(guò)程中的壓力不均勻而產(chǎn)生了諸如晶片上的應(yīng)力和空隙殘留物之類的問(wèn)題。

日本okk晶圓真空貼片機(jī)OVM系列

日本okk晶圓真空貼片機(jī)OVM系列

 

概述

 

近年來(lái),越來(lái)越多的情況是在正面和背面上形成大的臺(tái)階,例如凸塊,MEMS,TAIKO®* 1和背面安裝,并且不可避免地會(huì)由于薄化而使晶片翹曲。在傳統(tǒng)的輥涂方法中,由于在粘貼過(guò)程中的壓力不均勻而產(chǎn)生了諸如晶片上的應(yīng)力和空隙殘留物之類的問(wèn)題。

我們的真空粘貼設(shè)備解決了這些問(wèn)題,并實(shí)現(xiàn)了無(wú)氣泡和低應(yīng)力的粘貼。
此外,通過(guò)量化與常規(guī)粘貼設(shè)備難以實(shí)現(xiàn)的與粘貼相關(guān)的各種參數(shù),并將其合并到配方中,我們實(shí)現(xiàn)了一種工具,該工具可以無(wú)張力,并且可以通過(guò)抑制工人之間的差異而粘貼在無(wú)空隙的工具上。

特征

  • 實(shí)現(xiàn)低應(yīng)力粘貼
  • 粘貼條件的各種參數(shù)(粘貼速度,真空度,壓差,大氣釋放速度等)的數(shù)值管理
  • 只需按一下按鈕即可執(zhí)行多個(gè)粘貼配方
  • 也可以通過(guò)更改設(shè)置來(lái)處理不同尺寸的工作
  • TAIKO®*¹用大膠帶將膠帶固定在工件上,例如晶圓
  • 將膠帶粘在易碎且不喜歡粘貼時(shí)應(yīng)力的工件上,例如MEMS和超薄晶圓
  • 通過(guò)將設(shè)備安裝在我們的全自動(dòng)設(shè)備上,也可以進(jìn)行批量生產(chǎn)。
  • 薄膜/膠帶和晶圓/基材的粘合性(作為
    高性能薄膜的層壓板,例如各種保護(hù)膜和干膜,作為切割前的晶圓安裝件)
  • 可以使用可選的加熱器粘貼在加熱+真空中
  • 通過(guò)使用可選階段,可以粘貼圖案表面而不會(huì)發(fā)生接觸。

日本okk晶圓真空貼片機(jī)OVM系列

規(guī)格

 

8寸

12寸

尺寸

W500 x D770 x H1010(mm)
(帶調(diào)節(jié)器)

W613 x D873 x H1035(mm)
(帶調(diào)節(jié)器)

重量

約110公斤

約150kg

配方設(shè)定

從10種類型中選擇

從10種類型中選擇

適應(yīng)性工作

2
英寸至8英寸晶圓,基板等5英寸至8英寸劃片框

8inch。12inch晶圓,基板等
8inch。12inch切割框

對(duì)應(yīng)膠帶

各種膠帶

各種膠帶

真空源

干泵

干泵

干燥的空氣

0.5Mpa以上150L / min(ANR)

0.5Mpa以上150L / min(ANR)

電源

AC200V 50 / 60Hz 15A(三相)

AC200V 50 / 60Hz 15A(三相)

 

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