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更新日期：2024-03-16
簡要描述：
日本東麗toray半導體，電子元件氧氣分析儀MS-500多可同時測量8個點濃度顯示范圍很廣，從ppm到百分之100。非常適合安裝在半導體制造設備，真空設備等上。傳感器為直接插入型（用于真空16/25/40的NW法蘭）具有特殊涂層的高度耐用的傳感器，可進一步提高耐用性
| 儀器種類 | 在線式 |
|---|
日本東麗toray半導體，電子元件氧氣分析儀MS-500
測量原理形狀顯示方式測量范圍重復性測量點數樣氣條件壓力流量濕度溫度其他比較氣記錄儀輸出變速箱輸出報警輸出熱身時間尺寸MS-500（控制器）MS-510（轉換器）傳感器單元SD16NWSD25NWSD40NW大眾MS-500（控制器）MS-510（轉換器）傳感器單元SD16NWSD25NWSD40NW外部連接使用電源
| 氧化鋯濃縮池類型 |
| 分體式（轉換器：壁掛式，傳感器：直接插入式） |
| 4位數字顯示（密度顯示） |
| 0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol％O 2 10 -20至10 -0 atm 自動量程 |
| 在±0.5％FS 0-1％范圍內或更高 ±1％FS或± 0.1ppm中，以較大者為準小于0-1％范圍0-1ppm，atm范圍超出保證的濃度范圍 |
| 1?9?18 |
| 10 -3至200 KPa（壓力） |
| 0.5至5,000 mL / min或0 mL / min（自發擴散狀態的測量） |
| 露點低于環境溫度 |
| 0-100°攝氏度 |
| 請勿包含腐蝕性氣體（氟氣，lv氣，硫化物氣等），含有機硅的氣體，可燃成分（包括氣體），油和水。 |
| 大氣層 |
| 僅變速箱輸出 |
| RS-232C |
| 沒有 |
| 6分鐘以內 |
| 92（W）×44（H）×120（D）（不包括突起） |
| 100（W）×40（H）×88（D）（不包括突起） |
| 總長100mm（感應部分Φ11×39，主體部分Φ40×51） |
| 總長100 mm（感應部分Φ11×42，主體部分Φ40×48） |
| 總長100mm（感應部分Φ11×41，主體部分Φ40×49） |
| 約0.6Kg |
| 約0.5kg |
| 約0.2Kg |
| 約0.2Kg |
| 約0.35Kg |
| 真空法蘭之一（NW16、25、40） |
| 24VDC±10％ |
