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可安裝在量產設備中的膜厚檢測儀AFW-100W

  • 發布日期:2021-10-25      瀏覽次數:1208
    • 可安裝在量產設備中的膜厚檢測儀AFW-100W

      推薦使用反射光譜膜厚計用于膜厚測量應用,例如硬涂層。

      [機理] 

      樣品受到光照射時,它會根據膜厚顯示出*的光譜。薄膜表面反射的光與穿過薄膜并在基板表面反射的光相互干擾。當光的相位匹配時,強度增加,而當光相移時,強度降低。反射計是一種通過分析該光譜來測量薄膜厚度的方法。

      [優點] 

      -與 SEM 和觸針式輪廓儀不同,無需接觸即可進行測量。
      - 與橢偏儀相比,便宜且易于使用。

      將來也可以安裝在量產設備中。

      模型AFW-100W
      對于一般膜厚
      設備配置單元主體、測量臺、2 分支光纖 (1.5m)、PC
      測量波長范圍380-1050nm
      膜厚測量范圍100nm~1μm(曲線擬合法)
      1 μm 至 60 μm (FFT)
      測量再現性0.2%-1%(視膠片質量而定)
      測量光斑直徑約7mm
      光源12V-50W鹵素燈
      測量理論曲線擬合法/FFT法
      外形尺寸 (mm)測量臺:W150 x D150 x H115
      機身:W230 x D230 x H135
      大約重量5.5kg * 不包括 PC
      公用事業AC100V 50 / 60Hz
      轟天猛將鹵素燈


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