Autocrater拋光機的原理分析

發(fā)布日期：2023-11-15      瀏覽次數(shù)：593

Autocrater拋光機的原理分析

Autocrater可以通過用旋轉的鋼球拋光樣品并使用光學顯微鏡測量拋光痕跡的長度來測量薄膜厚度。



■無需樣品制備

無需進行切割、拋光或樹脂嵌入等樣品制備即可創(chuàng)建橫截面。
可以按原樣測量沉積的樣品。

■可評估多層膜

各層的膜厚可以通過化學處理等改變膜的組成作為色調的差異來評價。

■應用實例

TiN、CrN、TiAlN、TiCN 等、DLC、電鍍、這些的多層膜

本試驗機根據(jù)磨痕長度測量結果，采用ISO20423《弧坑磨削法測定涂層厚度》中規(guī)定的計算方法計算涂層厚度。此外，為了用該測試儀測量薄膜厚度，您將需要一個單獨的顯微鏡來測量拋光痕跡的長度。

測量原理及規(guī)格

首先，滴下金剛石漿料，并用旋轉的鋼球拋光樣品表面。	接下來，觀察創(chuàng)建的拋光痕跡并 測量上圖中 X 和 Y 之間的距離。
	根據(jù)測量的長度 X 和 Y 以及用于拋光的球的半徑，根據(jù)上式計算膜厚度。

●規(guī)格
◆軸轉速：100～3,000rpm
◆可設定旋轉時間：1秒～60分鐘
◆最大樣品尺寸：φ40mm

*可選配亞克力蓋。

消耗品

金剛石漿料和球



日本球SUJ2材質	φ20mm
日本球SUJ2材質	φ30mm
金剛石漿料	粒徑1.0μm（100cc）

*純國產（日本制造）Nanotech制造

Autocrater 測量示例

TiN 涂層測試件

• 球直徑：30 mm
• 電機轉速：400 rpm
• 測試時間：30 秒
• 漿料類型：金剛石漿料 1.0 µm